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測量過程中的測頭預行程誤差分析

發(fā)布日期:2022-06-09 09:58:58  點擊次數(shù):9453

非球面光學零件憑借在光學系統(tǒng)中的作用:有效校正系統(tǒng)像差,擴大系統(tǒng)視覺角度,減輕系統(tǒng)整體質(zhì)量縮小系統(tǒng)體積等,正被廣泛應用于各類型的高精尖科技生產(chǎn)加工領域。非球面面型檢測技術不可避免的成為加工工藝的一部分,且相當重要,所以如何能夠準確快速高效地檢測出非球面零件的面型信息至關重要。光學測量方法眾多且測量精度可以達到納米級別,但是這種光學測量又會可能收到空氣介質(zhì)和灰塵的影響,對于待測零件的表面精度要求比較高,設備成本也很高。一般應用在精密拋光階段對最終成型的零部件進行測量。


接觸式測量具有更高的適用性,性價比高,精確度也高,雖然也存在誤差如接觸變形誤差和零件表面劃傷風險,但是在實際加工過程中,還是接觸型測量更加有用,可靠,有實用性,主要應用于零件的精磨階段。


針對測量過程中觸發(fā)式測頭預行程誤差進行分析,通過對測桿彎曲變形和測球變形的受力分析,建立預行程誤差模型,在進行深入分析,通過對接觸力的理論推理,精確計算出預行程誤差值,由此可以深入研究預行程誤差補償方法。


在實際測量的過程中,由于測頭自身機械響應的滯后,接觸到被測零件表面時并不會立即發(fā)出觸發(fā)信號,所以從測頭接觸到被測零件表面到被觸發(fā)這一過程,就是叫做測頭預行程誤差。而影響這種誤差的因素又眾多,如測桿彎曲位移導致誤差,測球接觸位移誤差等等,所以在做預行程誤差分析時,要特別注意的是,為了精確計算測頭預行程誤差,針對不同誤差原因因素,分別進行數(shù)學建模,對誤差進行定量分析。

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